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等離子清洗機(jī)目前已廣泛應(yīng)用于電子元件的制造生產(chǎn)

更新時(shí)間:2021-07-08       點(diǎn)擊次數(shù):1327
  等離子清洗機(jī)的應(yīng)用,起源于20世紀(jì)初,隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,其應(yīng)用越來越廣,目前已在眾多高科技領(lǐng)域中,居于關(guān)鍵技術(shù)的地位,等離子清洗技術(shù)對產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明影響較大,*電子資訊工業(yè),尤其是半導(dǎo)體業(yè)與光電工業(yè)。
  等離子清洗機(jī)目前已應(yīng)用于各種電子元件的制造,可以確信,沒有等離子清洗機(jī)及其清洗技術(shù),就沒有今日這么發(fā)達(dá)的電子、資訊和通訊產(chǎn)業(yè)。此外,等離子清洗機(jī)及其清洗技術(shù)也應(yīng)用在光學(xué)工業(yè)、機(jī)械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測工業(yè)上,而且是產(chǎn)品提升的關(guān)鍵技術(shù),比如說光學(xué)元件的鍍膜、延長模具或加工工具壽命的抗磨耗層,復(fù)合材料的中間層、織布或隱性鏡片的表面處理、微感測器的制造,超微機(jī)械的加工技術(shù)、人工關(guān)節(jié)、骨骼或心臟瓣膜的抗摩耗層等皆需等離子技術(shù)的進(jìn)步,才能開發(fā)完成。
  等離了體是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產(chǎn)生的物質(zhì)。等離子清洗/刻蝕產(chǎn)生等離了子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電磁場,用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體越來越稀薄,分子問距及分子或離子的自由運(yùn)動距離也越來越長,受磁場作用,發(fā)生碰撞而形成等離子體,同時(shí)會發(fā)生輝光。等離子體在電磁場內(nèi)空間運(yùn)動,并轟擊被處理物體表面,從而達(dá)到表面處理、清洗和刻蝕的效果。
  在等離子刻蝕過程中,通過處理氣體的作用,被刻蝕物會變成氣相。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出,表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來。
  等離子清洗機(jī)采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。等離子清洗機(jī)外接一臺真空泵,工作時(shí)清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,短時(shí)間的清洗就可以使有機(jī)污染物被*地清洗掉,同時(shí)污染物被真空泵抽走,其清洗程度達(dá)到分子級。等離子清洗器除了具有超清洗功能外,在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能,等離子體作用于材料表面,使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組,形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料,在超清洗過程中等離子清洗器的輝光放電不但加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛應(yīng)用丁光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。
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